Edwards（愛德華）是全球真空設備與減排系統領域的先驅，1919年成立于英國，2014年加入瑞典Atlas Copco集團，現為半導體、光伏、鋰電池等工業領域真空技術的頭部供應商。其產品以高可靠性、節能性和智能化著稱，全球市場份額接近50%，尤其在半導體真空泵領域占據領先地位。

核心工業產品系列與熱銷型號

1. 工業干式真空泵系列

GXS系列（干式螺桿泵）

熱銷型號：GXS160、GXS250、GXS450、GXS750（可搭配高速羅茨增壓泵）

特點：高效處理腐蝕性氣體與微粒，長維護周期（達5年），適用于鋰電池注液、化工蒸餾等高污染場景。

GV系列（大型工業干泵）

熱銷型號：GV600、GV400

特點：大流量、低能耗，專為光伏鍍膜、工業脫氣等連續作業設計，支持5年免拆洗維護。

2. 半導體專用泵系列

iH系列（爪式干泵）

熱銷型號：iH600、iH1000、iH1800

特點：高潔凈度、低振動，用于300mm晶圓制造中的PECVD/LPCVD工藝，兼容顆粒與腐蝕性氣體。

QDP/iQDP系列（干式爪泵）

熱銷型號：QDP80、iQDP40

特點：模塊化設計，集成智能控制，適用于半導體潔凈室的快速抽空需求。

3. 羅茨真空泵系列

EH系列（機械增壓泵）

熱銷型號：EH2600、EH4200

特點：高抽速、寬壓力范圍，作為前級泵用于半導體設備、冶金工藝等高流量場景。

MB系列（大型羅茨泵）

熱銷型號：MB5700

特點：超大功率輸出，適用于工業級連續運行（如鋼鐵冶煉、化工反應釜）。

4. 油封式真空泵系列

EM系列（大型油封泵）

熱銷型號：E2M80、E2M275

特點：高極限真空、低噪音，用于變壓器干燥、燈具制造等粗真空場景。

RV系列（小型油封泵）

熱銷型號：RV12、RV8

特點：雙模式切換（高流量/高真空），適用于實驗室、小型工業設備配套。

5. 特殊工業應用泵

EDC系列（爪式干泵）

熱銷型號：EDC300、EDC500

特點：耐腐蝕涂層、蒸汽消毒兼容，專為食品加工、醫療滅菌設備設計。

nXDS系列（渦卷干泵）

熱銷型號：nXDS20i

特點：緊湊型設計，低能耗，適用于精密儀器與潔凈室環境。

技術優勢與工業應用價值

高效節能：采用干式無油技術減少污染，GXS系列能耗降低30%，環保模式可進一步節省20%電力。

極端環境適應性：iH系列耐受腐蝕性氣體與微粒，MB系列可處理高溫粉塵，EM系列蒸汽處理能力達220g/hr。

智能化控制：集成傳感器與遠程監控系統，實時預警維護需求，減少停機時間。

定制化方案：針對光伏、鋰電池等新興行業，提供從泵組到減排系統的整體解決方案（如EZENITH集成系統）。